3 月 25 日～27日，由国际半导体产业协会（SEMI）主办的SemiconChina 2026 圆满落幕。作为全球半导体行业的顶级盛会，本次展会汇聚了产业链上下游核心企业、技术精英与行业伙伴，成为展现全球半导体技术迭代与产业布局的核心舞台。

　　作为全球知名的质谱检测核心部件与半导体真空检测解决方案供应商，上海爱柯锐科技有限公司（ACT）一直以 “精准检测，赋能智造”为愿景，依托十年以上深厚质谱研发技术、真空测控与系统集成能力，深度贴合半导体先进制程需求，在高端分析仪器领域持续深耕后强势发力。此次，公司携完全自主知识产权的PGS系列残余气体分析仪重磅亮相展会，凭借全链自主的硬核实力，成为现场焦点，收获业界广泛关注与高度认可。

　　从核心离子源、高精度检测器，到整机系统与智能通讯算法，爱柯锐实现了关键部件全部自研、国产，全面展示了覆盖 “材料、部件、系统、软件、通讯” 的全链自主能力，以扎实的技术底座，为半导体工艺安全筑牢防线，也彰显了在国产高端质谱检测领域的深厚积淀与核心竞争力。

　　长期以来，残余气体分析仪（RGA）市场主要被欧美日企业垄断，成为制约国内半导体产业高质量发展的 “卡脖子” 痛点。直面行业困境，爱柯锐逆势突围，此次展会重磅推出PGS 系列半导体专用残余气体分析仪，正式打响国产高精度RGA 突围战，为国产替代注入强劲动力。

核心展品矩阵，硬核护航工艺安全

　　1 PGS 系列残余气体分析仪

　　专为PVD、ALD、CVD、Etch、Implant、Package 等半导体全制程真空环境监测打造，宽量程、高灵敏度、高稳定性，精准适配先进制程严苛要求，实现全流程气体成分稳定监测。

产品特点

　　典型应用

　　2 全流程制程监测方案

　　面向半导体 Fab全场景真空与气体管控需求，提供从单点监测到多腔体、多机台协同的一体化气体分析方案，实时追踪工艺气体成分变化、杂质泄漏与污染来源，实现设备状态自动化监控与异常预警，全面保障良率与工艺稳定性。

　　核心优势

　　值得关注的是，PGS 系列残余气体分析仪已在多个国内头部半导体客户完成验证并实现批量销售，订单的持续落地，不仅印证了产品的可靠性能与市场适配性，更体现了行业对国产高端质谱检测设备的高度认可，进一步夯实了上海爱柯锐科技有限公司在国内半导体真空检测领域的市场地位。

　　以全自研护航半导体工艺安全，以全链自主重塑检测格局。爱柯锐始终以技术创新为核心，深耕国产高端质谱检测设备研发，助力国内半导体产业打破国外垄断、实现自主可控。

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