目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低,如:
  ≤ISO5级:气流速度0.2~0.5m/s;
  ISO6级或5级(非单向流);换气次数>200次/h;
  ISO7级:换气次数20~200次/h;
  ISO8级:换气次数2~20次/h;
  三.FFU系统的应用
  3.1当前FFU的情况
  FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是:
  (1)采取均流及减少噪音的措施,噪音可在50db以内;
  (2)电动机采用DC/EC(电子整流电机),以耗较原交流电机节约近50%,因为小风机所用小容量(功率<1/2HP)的交流电机,一般皆为电容分相式或隐极式,其效率仅40%左右,而DC/EC电机的效率可达75~80%;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗,但目前投资回收期尚长而未广泛采用,一般常用分组群控或全部群控。

  (3)但FF瓣出口静压不能过大,一般采用出口风速成0.38m/s,此时其静压一般在250Pa以内。

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  3.2FFU回风系统与其他方式相比的优点
  3.2.1一般评价
  优点:
  (1)灵活性大,便于改造;
  (2)占用建筑物空间较少;
  (3)洁净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对洁净室污染的可能性。
  缺点:
  (1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),总共应控制在165Pa左右,以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大,回风道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回风道阻力在15Pa以内,否则就需要再增设加压风机系统,这就是降低了FFU系统的综合优点。
  (2)采用DC/EC电机后,单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低,但已有研究指出,比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。
  (3)一般FFU系统由于单位风量的能耗较大,因此洁净室的冷负荷亦相应增加。
  3.2.2具体情况下的评价
  (1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
  (2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用FFU,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
  (3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU系统已经普遍。